※お届け先は日本国内に限ります。
※ご注文の内容(本数、材質等)により、3営業日以内の発送ができない場合もございます。
※Oリング(断面が●)のみの販売となります。角型や、かまぼこ型等はございません。
●フロロハイパー Pシリーズとは
フロロハイパーPシリーズは、パーフルオロ系フッ素ゴム(FFKM)を主原料とするシール材です。
主原料のパーフルオロ系フッ素ゴム(FFKM)は、右図に示す通り、主鎖が完全フッ素化され、熱的にも、化学的にも極めて安定しているゴムです。
●フロロハイパーPシリーズの特徴
PTFEと同等の耐熱性と耐薬品性に加えて、ゴムの弾力性をも併有している点にあります。
このため、従来のフッ素ゴム(FKM)系シール材では対応てきなかった
「強酸、強アルカリ」「アミン類」「スチーム」「極性溶剤(アセトン、ベンゼン等)」
「高温(260℃前後〜320℃」「高エネルギー源(プラズマ、マイクロウエーブ等)」
など、優れた耐性が要求される苛酷な条件のもとでも使用することができます。
フロロハイパーPシリーズは、これらの耐性に加えて、さらに
「低ガス透過性」「低ガスアウト」
などの特性を有し、高真空下で使用することができます。
その上、高純度・非汚染性が要求される用途のために、クリーンルーム(Class1000)内で製造する本シリーズは、主に半導体・LCD・LED・ソーラーパネル業界でご使用いただく最適の製品と言えます。
●フロロハイパーPシリーズのグレード(4種)とその特徴
P-S75B
標準グレード
最良の耐薬品性、耐アミン性、耐スチーム性と機械特性
耐プラズマ性、耐溶剤性、低ガス放出、低ガス透過性、低溶出
・色:黒
・硬さ:75
・最高使用温度目安:260℃
半導体・液晶・LED関連
レジスト剥離、CMP、コーターデベロッパー、洗浄、ドライエッチャー、CVD、排気ライン、真空ポンプ、薬液タンク
化学工業関連
ケミカルドライポンプ、タンク、バルブ
電気電子関連
洗浄装置、バッテリー
P-S75W
標準プラズマ対策グレード
耐プラズマ性と経済性兼備の普及グレード
耐薬品性、耐アミン性、耐スチーム性、耐プラズマ性、耐溶剤性、低ガス放出、低ガス透過性
・色:白
・硬さ:76
・最高使用温度目安:230℃
半導体・液晶・LED関連
ドライエッチャー、CVD
P-H75B2
特殊耐熱グレード
耐熱性、耐アミン性、耐スチーム性の併有
耐薬品性、耐アミン性、耐スチーム性、耐プラズマ性、耐溶剤性、低ガス放出、低ガス透過性
・色:黒
・硬さ:76
・最高使用温度目安:320℃
半導体・液晶・LED関連
拡散炉、CVD、ランプアニール
P-H70PLUS
耐プラズマ、パーティクル汚染対策・超低溶出グレード
最良の耐プラズマ性、低パーティクル汚染性、低溶出性
耐薬品性、耐アミン性、耐スチーム性、耐溶剤性、低ガス放出、低ガス透過性
・色:淡黄
・硬さ:70
・最高使用温度目安:230℃
半導体・液晶・LED関連
ドライエッチャー、CVD、高純度薬液、洗浄
2.62mm
公差:±0.07
3.00mm
公差:±0.10
3.53mm
公差:±0.10
5.70mm
公差:±0.15
6.00mm
公差:±0.15
6.98mm
公差:±0.15
8.40mm
公差:±0.15
10.00mm
公差:±0.30
※全てOリング(断面が●)となります。角型や、かまぼこ型等は出来ません。
ひも状のOリングを加硫つなぎという方法でつなぎますので、上記の範囲内で自由にご指定下さい。
【内径の公差は以下の通りです】
※最小単位は1mm単位とさせていただきます。
※内径2000mmを超える場合でも製作可能な場合もございますので、ご相談下さい。
大口径のOリングの製造は、一般的に、接着、加硫接着、送り加硫の3つの方法がありますが、当社では、超特急に対応し、なおかつ高品質なOリングを作るために独自の製造方法(加硫つなぎ)を行っています。
各種試験結果から、当社の加硫つなぎ品は、金型による一体成型品とほぼ同等の性能があります。
材料(フロロハイパーPシリーズ) | 線径3mm×内径500mm | 線径6mm×内径500mm |
P-S75B | ¥28,400 | ¥99,000 |
P-S75W | ¥31,200 | ¥108,000 |
P-H75B2 | ¥33,500 | ¥114,000 |
P-H70PLUS | ¥46,000 | ¥174,000 |
※ご注文内容により価格は変わりますので、詳しくはお問い合わせ下さい。